产品特性:气相沉积 | 加工定制:是 | 品牌:国产 |
型号:HF-RL15.200 | 用途:硅基负极 | 设备功率:12KW |
设备炉管转速为:0.5~2r/min |
设备特点:
(1)该使用温度低于1000度
(2)该设备为连续式设备
(3)该设备为全密封结构
(4)该设备生产过程保护气体消耗量小
(5)该设备可以***控制物料在炉内的停留时间
(6)该设备可以在一种或多种气氛下烧结
(7)该设备可以实现气相沉积烧结(CVD法制备硅碳)
(8)该设备炉管材料可以选择金属或非金属制作
(9)该设备温控精度高(≤2℃)
(10)该设备可以直接测试物料的温度
(11)该设备温控采用PLC+PID方式
(12)该设备的炉衬全部选用轻质***耐火材料
(13)该设备产量大,能耗低,占地面积小